会议名称(中文): 2014中国材料大会:微电子与光电子材料分会
所属学科: 电子工程,半导体技术,材料科学基础学科
开始日期: 2014-07-04
结束日期: 2014-07-07
所在国家: 中华人民共和国
所在城市: 四川省 成都市
主办单位: 中国材料研究学会
承办单位: 集成电路材料产业技术创新战略联盟
[ 组织结构 ]
会议主席: 王 曦、宋志棠、杨德仁
[ 重要日期 ]
摘要截稿日期: 2014-04-30
全文截稿日期: 2014-07-01
论文录用通知日期: 2014-05-20
[ 会务组联系方式 ]
联系人: 石瑛 北京多维电子材料技术开发与促进中心
联系电话: 13901189465
E-MAIL: ingridshiying@gmail.com
会议网站: http://www.c-mrsmeeting.com/hywj/clyth/fhsz/index.asp
会议背景介绍: 征文主题:Si、Ge、SOI、GOI、SiC和化合物半导体等衬底材料;用于集成电路和光电器件制造的高-k/金属栅叠层、Low-k材料、GeSi外延层、GeSn外延层、RRAM介质材料,STT-MRAM用磁性薄膜等新型薄膜材料;新型显示材料;碳纳米管,石墨烯等碳基功能材料;光刻胶、DSA、各类CVD和ALD前驱体、CMP抛光材料、工艺化学品、靶材等集成电路制造工艺材料;专用封装材料;材料检测技术与方法;材料设计理论与计算模拟
